| 000 | 00759nab a2200241 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | AR-ReUNN | ||
| 005 | 20260702005227.0 | ||
| 008 | 260701s2006 ag |||||||||||||||||spa | ||
| 100 | 1 |
_aArce, R. _9211717 |
|
| 700 | 1 |
_aKoropecki, R. R. _9211718 |
|
| 700 | 1 |
_aBuitrago, R. H. _9211719 |
|
| 700 | 1 |
_aCutrera, M. _9211726 |
|
| 700 | 1 |
_aBattioni, M. _9211727 |
|
| 245 | 1 | 0 | _aAmorphous silicon carbide films prepared by PECVD under hydrogen dilution and high excitation frequency |
| 264 | 1 | _c2006 | |
| 300 | _a6 páginas | ||
| 650 | 4 |
_aCarburo de Silicio Amorfo _9211728 |
|
| 650 | 4 |
_aPecvd _9211729 |
|
| 773 | 0 |
_tAnales de la Asociación Química Argentina _x0365-0375 _gv. 84 n. 1 (1996) _w272608 |
|
| 942 | _cART | ||
| 035 | _a(EXA)37244 | ||
| 001 | 275067 | ||
| 999 |
_c275067 _d275067 |
||
| 040 |
_aAR-ReUNN _bspa _cAR-ReUNN _eaacr2 |
||